| |
|
 |
| |
| 專利申請一覽表 |
| 序
號 |
類別 |
申
請國家 |
專利名稱 |
案件狀態 |
專利案號
|
專利權期間 |
頒
證日 |
|
|
|
|
|
|
PATEN
NUMBER
|
自
|
止
|
|
|
1
|
UFO |
台灣
|
高介電質薄膜之低溫濕蝕刻方法 |
專利已獲准
|
發明第I256688
號
|
2006/6/11
|
2022/1/31
|
|
|
2
|
UFO |
日本
|
高介電質薄膜之低溫濕蝕刻方法 |
專利已獲准
|
特許第3652324
號
|
2005/3/4
|
2022/5/16
|
|
|
3
|
UFO |
美國
|
Puddle
Etching Method of Thin Film by Using Spin-processor |
專利已獲准
|
US
6,793,836 B2
|
2002/7/5
|
2022/7/4
|
2004/9/21
|
|
4
|
UFO |
美國
|
Method for
Wet Etching of High k Thin Film at Low Temperature |
專利已獲准
|
US
7,115,526 B2
|
2002/3/18
|
2022/3/17
|
2006/10/3
|
|
5
|
UFO |
台灣
|
利用旋轉機台之薄膜蝕刻方法 |
專利已獲准
|
發明第187047號
|
2003/9/21
|
2022/4/16
|
|
|
6
|
UFO |
台灣
|
化學機械研磨(CMP)之線上
漿液再生循環利用之方法及裝置 |
專利已獲准
|
發明字第
Ι235091號
|
2005/7/1
|
2022/10/3
|
|
|
7
|
Bench |
台灣
|
碳化矽及低介電常數薄膜之清除
方法與裝置 (原） |
專利已獲准
|
發明第192924號
|
2003/11/11
|
2022/10/3
|
|
|
8
|
Bench |
台灣
|
基板洗淨系統及其洗淨方法 |
專利已獲准
|
發明第168861號
|
2002/12/1
|
2020/9/10
|
|
|
9
|
Bench
|
台灣
|
晶圓濕蝕刻夾持治具 |
專利已獲准
|
發明第220289號
|
2004/8/11
|
2023/3/31
|
|
|
10
|
UFO
|
台灣
|
金屬圖案撕去設備除去金屬碎片
之裝置及方法 |
專利已獲准
|
發明字第
Ι236708號
|
2005/7/21
|
2023/4/9
|
|
|
11
|
Bench |
台灣
|
光阻去除裝置及方法 |
專利已獲准
|
發明第202873號
|
2004/6/1
|
2023/3/31
|
|
|
12
|
Bench |
台灣
|
晶圓之水分去除裝置及方法 |
專利已獲准
|
發明第203083號
|
2004/5/21
|
2023/3/31
|
|
|
13
|
UFO |
台灣
|
單晶圓旋轉蝕刻機台之流體收集
裝置 |
專利已獲准
|
發明第200871號
|
2004/4/21
|
2023/4/9
|
|
|
14
|
IPA Dryer
|
台灣
|
晶圓乾燥方法 |
專利已獲准
|
發明字第
Ι236061號
|
2005/7/11
|
2023/8/20
|
|
|
15
|
IPA Dryer
|
台灣
|
晶圓清洗及乾燥之裝置 |
專利已獲准
|
發明字第
Ι238463號
|
2005/8/21
|
2023/8/20
|
|
|
16
|
UFO |
台灣
|
金屬化合物的蝕刻方法以及使用
此蝕刻方法製造電晶體之閘極的方法 |
專利已獲准
|
TSMC
|
|
|
|
|
17
|
UFO |
台灣
|
旋轉機台以複數組夾指夾持晶圓
之裝置 |
專利已獲准
|
發明字第
Ι256101號
|
2006/6/1
|
2025/3/6
|
|
|
18
|
UFO |
台灣
|
具多孔片狀液體去除裝置之清洗蝕刻機台 |
專利已獲准
|
發明字第Ι256101號
|
2006/6/1
|
2025/5/23
|
|
|
19
|
Electroplating
|
台灣
|
晶圓電鍍夾具 |
專利已獲准
|
發明字第Ι266398號
|
2006/11/11
|
2025/9/19
|
|
|
20
|
UFO |
美國
|
Wet Processsing Apparatus |
專利已獲准
|
6,027,602
|
|
|
|
| 21 |
UFO |
台灣 |
複數組夾指挾持晶圓裝置之機械構造 |
|
發明字第 Ι295831號 |
2008/04/11 |
2025/3/6 |
|
|
22
|
|
台灣
|
太陽電池之多層PIN接面響應曲線之量測系統及方法 |
專利已獲准
|
發明字第 I341596號
|
2011/5/1
|
2027/10/27
|
|
|
23
|
|
台灣
|
具有冷卻底座之加熱板 |
專利已獲准
|
發明字第 I317804號
|
2009/12/1
|
2027/11/15
|
|
|
24
|
|
大陸
|
旋轉機台以複數組夾指夾持晶圓裝置之機械構造 |
專利已獲准
|
ZL 2005 I 0059872.6
|
2008/11/26
|
2025/3/31
|
|
|
| |
| |
|
|
|
|
|
|
|
Grand Plastic
Technology Corporation
|
|
No.13, Datong
Rd., Hsinchu Industrial Park Taiwan 30352 R.O.C. Tel:
886-3-5972353 Fax: 886-3-5972352
|
|
Copyright (c)
Grand Plastic Technology Corporation. All rights reserved.
|
| |
|
|
|
