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台湾半导体湿制程设备领导品牌
About Us 关于我们
A leading brand of semiconductor

台湾半导体湿制程设备领导品牌

弘塑科技拥有坚强的研发设计团队、数百项制程技术专利,并与日本、德国等国外公司合作,从设计开发、系统制作、组装、测试、产品安装到售后服务,针对客户的需求快速反应,提昇产品品质与良率,完美处理各种湿制程难题

Product
Introduction

产品介绍

提供客户先进湿制程设备及制程应用的完整解决方案

上亿打造超洁净实验室,投入庞大资源进行创新研发,赢得客户信赖并在各种挑战中持续成长

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单晶圆旋转设备
UFO系列、UFO-A 系列
单晶圆旋转设备

随着半导体制程条件的持续紧缩,单片晶圆内以及片与片之间的制程条件一致性及再现性更显重要,单晶圆旋转设备可透过自动化的机器手臂传送及精准定位,制程腔体透过弹性参数设定可精准控制化学反应以满足制程需求,同时设备佔地面积小,搭载药液回收系统、药液蚀刻终点监控、双面清洗等功能,协助客户降低生产成本,适用于Metal Etch, Silicon Etch, Oxide Etch, PR Strip, Wafer Clean, Mask Clean等制程应用

批次式酸槽设备
VAN系列 、DIO系列
批次式酸槽设备

展现高度客制化机种,透过酸槽配置,进行浸泡式制程,搭配温控机制、流场循环、上下晃动、超音波震盪、混酸补酸机制、干燥机制等等功能,最佳化制程条件,同时具备高产出、低成本的优势,同时可处理各种尺寸晶圆及基板,适用于Metal Etch, Silicon Etch, Oxide Etch, Nitride Etch, PR Strip, RCA Clean, Glass Clean, Electric Plating, Electroless Plating等制程应用

复合式制程设备
UFO-C系列
复合式制程设备

随着半导体制程演进,线宽线距持续微缩,以及2.5D/3D先进封装制程持续发展,多功能湿制程设备愈趋重要,复合式制程设备可整合酸槽浸泡及单晶圆旋转腔体于同一机台内,最佳化化学力及物理力于湿制程中,达到最佳去除效果,适用于PR Strip, Metal Lift Off, Carrier Recycle等制程应用

Applications and Solutions

高阶湿制程设备应用与解决方案

Solution 解决方案

数百项制程设备技术专利,快速回应客户需求,产品品质与良率的提升

先进构装
先进构装

先进构装

着重于凸块制程的研究与先进设备开发
IC前段制程
IC前段制程

IC前段制程

提供光罩清洗,晶圆清洗,与应力缓解的设备
光电产业
光电产业

光电产业

提供 GaAs 湿法蚀刻、金属剥离、PSS 磷酸蚀刻、RCA 清洗和粗糙度的制程应用
Honsu Group 弘塑集团
About
Honsu Group

关于弘塑集团

在半导体制造、先进封装、化合物半导体、离散元件、电力电子湿制程设备领域深耕多年,近十年来致力于产业面向上的开拓与整合

湿制程设备开发、设计、制造,提供客户高品质、高效能、低维护成本的生产设备
半导体封装、Mini/Micro LED等领域生产制造使用之特殊配方化学品。包括多种类金属蚀刻液、粗化液、环保型去光阻液、奈米双晶铜电镀添加液等产品
半导体制造所需的检验、量测设备,包括应用超声波、红外光、可见光、UV到X-ray波段的设备,以及化合物半导体生产设备及材料代理。另外在真空冷冻泵零组件的开发、设计、制造或是整机翻修、机械手臂翻修维护也是执业界内翘楚
耕耘于工业大数据20年,致力于工程资料分析运用软体方案之开发,并且提供工业界在品质与精实制造的解决方案
湿制程设备开发、设计、制造,提供客户高品质、高效能、低维护成本的生产设备
半导体封装、Mini/Micro LED等领域生产制造使用之特殊配方化学品。包括多种类金属蚀刻液、粗化液、环保型去光阻液、奈米双晶铜电镀添加液等产品
半导体制造所需的检验、量测设备,包括应用超声波、红外光、可见光、UV到X-ray波段的设备,以及化合物半导体生产设备及材料代理。另外在真空冷冻泵零组件的开发、设计、制造或是整机翻修、机械手臂翻修维护也是执业界内翘楚
耕耘于工业大数据20年,致力于工程资料分析运用软体方案之开发,并且提供工业界在品质与精实制造的解决方案
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