UFO-150C系列

机台特点 :
✔ 可结合垂直浸泡及旋转清洗功能于同一机台，满足同时需要浸泡及高压清洗功能的制程，最佳化清洁能力，降低生产配方时间，增加产出
✔ 最佳化制程腔体设计，晶圆洁净度可达次微米要求
✔ 堆叠式制程腔体设计，最佳化机台尺寸，减少无尘室佔地面积
✔ 多重过滤回收机制，贵金属回收率高，降低生产浪费