UFO-300C系列

机台特点 :
✔ 可结合暂时性贴合载板剥离及旋转清洗功能于同一机台，满足一条龙式制程，提高生产效率
✔ 可结合垂直浸泡及旋转清洗功能于同一机台，满足同时需要浸泡及高压清洗功能的制程，最佳化清洁能力
✔ 最佳化制程腔体设计，晶圆洁净度可达次微米要求
✔ 可整合光学辨识系统，及早发现缺陷晶圆或基板，降低制程报废率
✔ 具备晶圆翻转功能，满足双面制程需求