微粗糙化蚀刻表面 (Micro-Roughness Surface Etching)

粗糙化蚀刻表面(Micro-Roughness Surface Etching)目的是增加金属沈积(metal deposition)之附着力(adhesion)，于化学液上是使用氢氟酸(HF)与硝酸(HNO3)混合，进行硅湿式蚀刻制程，则可在蚀刻液中添加一些特殊药剂，其晶圆表面能够具备微粗糙化(Micro-Roughness)特性，以增加金属沈积时之附着力。