UFO-150C系列

機台特點 :
✔ 可結合垂直浸泡及旋轉清洗功能於同一機台，滿足同時需要浸泡及高壓清洗功能的製程，最佳化清潔能力，降低生產配方時間，增加產出
✔ 最佳化製程腔體設計，晶圓潔淨度可達次微米要求
✔ 堆疊式製程腔體設計，最佳化機台尺寸，減少無塵室佔地面積
✔ 多重過濾回收機制，貴金屬回收率高，降低生產浪費