UFO-300C系列

機台特點 :
✔ 可結合暫時性貼合載板剝離及旋轉清洗功能於同一機台，滿足一條龍式製程，提高生產效率
✔ 可結合垂直浸泡及旋轉清洗功能於同一機台，滿足同時需要浸泡及高壓清洗功能的製程，最佳化清潔能力
✔ 最佳化製程腔體設計，晶圓潔淨度可達次微米要求
✔ 可整合光學辨識系統，及早發現缺陷晶圓或基板，降低製程報廢率
✔ 具備晶圓翻轉功能，滿足雙面製程需求