微粗糙化蝕刻表面 (Micro-Roughness Surface Etching)

粗糙化蝕刻表面(Micro-Roughness Surface Etching)目的是增加金屬沈積(metal deposition)之附著力(adhesion)，於化學液上是使用氫氟酸(HF)與硝酸(HNO3)混合，進行矽濕式蝕刻製程，則可在蝕刻液中添加一些特殊藥劑，其晶圓表面能夠具備微粗糙化(Micro-Roughness)特性，以增加金屬沈積時之附著力。